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高精密光盘模具及精密模具表面类金刚石膜强化中试研究

   日期:2020-10-15     来源:互联网    作者:admin    浏览:5    评论:0    
核心提示:登记号粤科成登字20080075登记日期2008-04-14成果名称高精密光盘模具及精密模具表面类金刚石膜强化中试研究成果状态已批准项目完

登记号 粤科成登字20080075 登记日期 2008-04-14 成果名称 高精密光盘模具及精密模具表面类金刚石膜强化中试研究 成果状态 已批准项目 完成单位 广州有色金属研究院、广州市蓝光精机科技有限公司 研究人员 侯惠君 徐 雄 林松盛 付志勇 代明江 朱霞高 李洪武 孙 利 林凯生 研究时间 2005.03 至2007.06 鉴定单位 广东省科学技术厅 鉴定日期 2008.02.29 成果应用行业 高新科技领域 学科分类 、 简介 应用领域和技术原理本项目属表面工程技术高性能薄膜新材料领域。应用的对象除了光盘模具之外,其它精密工模具及部件(如:空调器翻边冲头、塑料成型模具、极低温制冷机活塞、易拉罐深拉模具、其它对磨件等)的应用面更广,更有市场。采用阳极层流型矩形气体离子源与非平衡磁控溅射的复合技术制备类金刚石膜和掺金属的类金刚石膜。利用离子源离化出氩离子直接轰击工件,使工件露出新鲜的表面,然后,在高偏压条件下进行金属离子轰击后,利用非平衡磁控溅射沉积过渡层,通入含碳气体(如CH4)经离子源,使其充分离化成碳离子,在自身动量和偏压的作用下,在工件表面发生碰撞、键合等作用,生成含SP3键的类金刚石;同时,开启装有金属靶的直流或中频磁控溅射靶,实现在类金刚石中掺杂金属。通过工艺参数与成膜质量的规律性研究,优化工艺条件,使生成的膜具有膜层细腻、膜/基结合强度好、表面硬度高、摩擦系数小等优点。 .性能指标要达到的技术、经济指标:  1)单炉类金刚石膜有效制备面积Φ600mm×600mm。  2)可制备纯类金刚石和掺杂金属的类金刚石膜  3)类金刚石膜具备以下性能:沉积速率:0.5-1.0μm/h;膜硬度:>20GPa;膜/基结合力:>50N;膜层厚度:可达3μm;膜层摩擦系数:0.1-0.2。  4)处理前后工模具表面粗糙度不发生变化。  5)膜层制备温度低于300℃。  6)膜层不会造成基体任何力学性能下降。  7)光盘模具经DLC强化处理后,表面均匀、使用寿命大于200万次,光盘片质量稳定。

 
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